露光装置 の検索結果

SCREENセミコンダクターソリューションズ 直接描画露光装置の高生産性モデル発売

SCREENセミコンダクターソリューションズは、直接描画露光装置として業界最高水準の5μm解像度で毎時70枚の処理を実現し、半導体後工程の先端パッケージ市場の量産化に対応した直接描画露光装置「DW-6000」を開発し、販売を開始した。 この装置は、高出力の355nmYAGレーザーと4台の描画ヘッドの組み合わせにより、最小線幅5μmの解像度で1時間当たり70枚という、量産向け直接描画露光装置として業界最高水準のスループットを実現。また、独自のiGLV光学エンジンとレーザー制御技術の融合により、解像力2μmの超高精度露光や、Fan-Out化で課題となる半導体チップ再配置時の位置ズレに対し、露光デー…


キヤノン 半導体露光装置 高い生産性実現

キヤノンは、IoT時代のメモリ、イメージセンサなどの需要拡大に向け、生産性を向上した半導体露光装置を提供する。2016年12月にロジック・メモリー・CMOSイメージセンサデバイス向け半導体露光装置「FPA-5550iZ」を発売開始し、17年1月にはKrF半導体露光装置向けの生産性向上オプション「Grade6」を発売する。 FPA-5550iZは、シーケンス最適化によるウエハー処理時間の短縮と、ウエハーロット交換時間の短縮により、同等クラスのi線露光装置として高い生産性(ウエハー処理能力)を実現。独自のショット形状補正機能を搭載し、下地ショット形状に合わせて重ね焼きすることで、高い重ね合わせ精度…


速報取材レポート「第34回 ネプコン ジャパン」見どころは

2020年1月15日(水)~17日(金)の3日間、東京ビッグサイトで開催中の「第34回 ネプコン ジャパン -エレクトロニクス 開発・実装展-」。 第34回 インターネプコン ジャパン エレクトロニクス -エレクトロニクス 製造・実装展- 第34回 エレクトロテスト ジャパン -エレクトロニクス検査・試験・測定展- 第21回 半導体・センサ パッケージング技術展 (通称:ISP) 第21回 電子部品・材料 EXPO 第21回 プリント配線板 EXPO (通称:PWB) 第10回 微細加工 EXPO 第12回 LED・半導体レーザー 技術展 (通称:L-tech) これら6つの展示会で構成される…


【インタビュー】シチズン千葉精密 中川社長と追杉執行役員に聞く、超高精度制御を実現

小型精密モーターメーカー シチズン千葉精密 中川康洋 代表取締役社長、追杉豊 執行役員 開発部部長に聞く ロボットハンドを筆頭に、これからの機械はますます精密作業分野に広がっていき、高い制御精度が求められる。従来のスピードやパワーに加え、しなやかさや柔らかさといった繊細なタッチ、静粛性や低振動といった要素も重要となる。 シチズン千葉精密は、半導体やFPD製造装置、精密測定器、医療機器など超高精度が求められる分野で実績が豊富な小型精密モーターメーカー。精密作業の高度化に向けた提案を強化している。 中川康洋代表取締役社長と追杉豊執行役員 開発部部長に話を聞いた。   半導体・医療機器など…


速報取材レポート「電子機器トータルソリューション展」JPCA Show 2019(第49回国際電子回路産業展)見どころは

6月5日(水)〜7日(金)の3日間、東京ビッグサイトで開催中の「電子機器トータルソリューション展」。以下の7つの専門展で構成される、電子回路・実装技術に関する展示会です。 JPCA Show2019(第49回国際電子回路産業展) 2019 マイクロエレクトロニクスショー(第33回最先端実装技術・パッケージング展) JISSO PROTEC 2019(第21回実装プロセステクノロジー展) 有機デバイス総合展 2019(IoT対応半導体・回路基板展) WIRE Japan Show 2019(電気・光伝送技術展) SmartSensing2019 JEP/TEP Show 本ページでは展示会の概要…


速報取材レポート「コンバーティングテクノロジー総合展2019」

2019年1月30日(水)~2月1日(金)の3日間、東京ビッグサイトで開催予定の「コンバーティングテクノロジー総合展2019」。医療や食品の包装材料からエレクトロニクス分野のフィルムや部材、そして自動車の電池材料にいたるまであらゆる技術が一堂に集まる展示会であり、以下の5つのフェアで構成されています。 Convertech JAPAN 新機能性材料展 JFlex 3次元表面加飾技術展 先進印刷技術展 今回は国内外400社が出展。50,000人もの来場者数を見込んでいます。 本ページでは展示会の概要とともに、注目ブースを写真満載で解説する展示会速報取材レポートをお届けします! 展示会速報取材レポ…


日本最大のディスプレイ産業展「液晶・有機EL・センサ技術展(ファインテック ジャパン)」 12月5日~7日 幕張メッセで開催

電子ディスプレイ、有機エレクトロニクス、IoT関連技術 勢ぞろい 日本最大級のディスプレイ産業展「第28回液晶・有機EL・センサ技術展(ファインテック ジャパン)」(主催=リード エグジビション ジャパン)が、12月5日(水)~7日(金)の3日間、幕張メッセで開催される。 開場時間は10時~18時(最終日は17時まで)、入場料は5000円(Webでの事前登録者、招待券持参者は無料)。 期間中は「高機能素材Week」と「Photonix 2018」が同時開催され、相互入場が可能。同時開催展にも多くのディスプレイ技術が出展される。   薄型テレビやスマートフォンをはじめ、急成長を続けてい…


グローバルウェイ、電気機器業界の働きやすい企業ランキングを発表、1位はパナソニック!

1位パナソニックでは「社外留職」や「社内複業」も 年間2000万人が訪れる企業口コミ・給与明細サイト「キャリコネ」を運営するグローバルウェイ(東京都港区)は、 「電気機器業界の働きやすい企業ランキング」を発表した。 本ランキングは、 対象期間中にキャリコネのユーザーによる「労働時間」「やりがい」「ストレス」「休日」「給与」「ホワイト度」の6項目の評価の平均点(総合評価)が高い電気機器業界に属する企業をまとめたものとなっている。   【電気機器業界の働きやすい企業ランキング】   1位:パナソニック ~「経営の神様」松下幸之助が創業~ 1965年、 日本で初めて週休2日制を導…


キヤノンマーケティングジャパン、高機能レーザー干渉計「S100|SRW」の国内独占販売を開始

キヤノンマーケティングジャパン(以下、キヤノンMJ)は、米国アプレ社との間で、日本国内における販売契約を締結し、国内独占販売製品「S100|SRW」をはじめとするレーザー干渉計 Sシリーズの販売を5月23日より開始します。 ▲レーザー干渉計 Sシリーズ(左)と解析ソフト画面イメージ(右) 主な特長 レーザー干渉計は、光学部品や鏡面加工部品などの品質検査で使われる計測機器です。光学レンズや高精度ミラーのほか、継続して需要が伸びている半導体・液晶露光装置の製造工程や宇宙・衛星分野で用いられる光学部品の検査工程などでも使用されています。 また、防犯カメラや車載カメラの高機能化・市場活性化により、検査…


キヤノン ナノインプリント半導体装置 東芝メモリ四日市工場に納入

キヤノンは、ナノインプリント技術を用いた半導体製造装置「FPA-1200NZ2C」を、東芝メモリ(東京都港区)の四日市工場に納入した。 これにより、世界初となるナノインプリント技術を用いた半導体メモリの量産に向けて、開発をさらに加速する。 ナノインプリント半導体製造装置は、マスク(型)をウエハー上のレジスト(樹脂)にスタンプのように直接押し付けることで、マスクの回路パターンを忠実に転写することができ、従来の光露光装置に比べて高解像なパターンを描けることが特長。半導体デバイスの先端リソグラフィプロセスの簡略化を実現し、CoOを大幅に低減できる。 同社では、半導体デバイスの進化の鍵となる回路パター…