小野測器 毎秒5メートルの最大検出速度 レーザ測長計システム発売

2010年12月8日

小野測器は、最大検出速度毎秒5メートル、分解能0・155ナノメートルの性能を持つレーザ測長計システム=写真=を1日から発売した。高速リニアステージの性能評価に最適である。本体販売価格は1chセット260万円、2chセット470万円。初年度100セットの販売を計画している。

リニアステージ装置は、インクジェットプリンタやスキャナーヘッドの移動機構、NC制御の機械加工装置、搬送装置、基板や半導体露光装置など幅広い分野で使用されている。近年は装置の位置決めの高精度、高速化が進んでおり、性能を計測するレーザ測長計もその対応が求められている。

新発売のレーザ測長計システムはLV―9002レーザ測長センサー、LV―0300Aレーザ測長計、LV―0120Aデジタル変位計ユニットで構成。He―Neレーザ光を使い最大5m/sの直線変位を1MHzでのサンプリングと0・155nm分解能で測定できる高精度・高速応答の非接触システム。

干渉計内蔵のシンプルな構造で、設置が簡単かつ短時間で可能である。オプションのLV―0930変位解析ソフトにより、USB出力から計測データを読み込める。移動軌跡や停止時に発生するオーバーシュートなどの動特性解析、変位に重畳した成文のFFT解析、デジタルフィルター処理、輸出時に必要なISO230―2に準拠した位置決め精度が可能である。