キヤノン 半導体露光装置 高い生産性実現

2016年12月21日

キヤノンは、IoT時代のメモリ、イメージセンサなどの需要拡大に向け、生産性を向上した半導体露光装置を提供する。2016年12月にロジック・メモリー・CMOSイメージセンサデバイス向け半導体露光装置「FPA-5550iZ」を発売開始し、17年1月にはKrF半導体露光装置向けの生産性向上オプション「Grade6」を発売する。 FPA-5550iZは、シーケンス最適化によるウエハー処理時間の短縮と、ウエハーロット交換時間の短縮により、同等クラスのi線露光装置として高い生産性(ウエハー処理能力)を実現。独自のショット形状補正機能を搭載し、下地ショット形状に合わせて重ね焼きすることで、高い重ね合わせ精度…