キヤノン 半導体露光装置 高い生産性実現

キヤノンは、IoT時代のメモリ、イメージセンサなどの需要拡大に向け、生産性を向上した半導体露光装置を提供する。2016年12月にロジック・メモリー・CMOSイメージセンサデバイス向け半導体露光装置「FPA-5550iZ」を発売開始し、17年1月にはKrF半導体露光装置向けの生産性向上オプション「Grade6」を発売する。

FPA-5550iZは、シーケンス最適化によるウエハー処理時間の短縮と、ウエハーロット交換時間の短縮により、同等クラスのi線露光装置として高い生産性(ウエハー処理能力)を実現。独自のショット形状補正機能を搭載し、下地ショット形状に合わせて重ね焼きすることで、高い重ね合わせ精度を可能にした。IoT時代の進展に伴う大規模ストレージ需要、自動運転や運転支援システム向けに需要の高いイメージセンサ向けに最適となっている。
「Grade6」は、FPA-6300ES6a向けオプションで、ステージ速度向上や制御方法の最適化によって露光処理時間を大幅に短縮し、300ミリウエハーで毎時255枚の業界最高水準の生産性を実現している。

ANSYS

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