キヤノン ナノインプリント半導体装置 東芝メモリ四日市工場に納入

2017年8月23日

キヤノンは、ナノインプリント技術を用いた半導体製造装置「FPA-1200NZ2C」を、東芝メモリ(東京都港区)の四日市工場に納入した。 これにより、世界初となるナノインプリント技術を用いた半導体メモリの量産に向けて、開発をさらに加速する。 ナノインプリント半導体製造装置は、マスク(型)をウエハー上のレジスト(樹脂)にスタンプのように直接押し付けることで、マスクの回路パターンを忠実に転写することができ、従来の光露光装置に比べて高解像なパターンを描けることが特長。半導体デバイスの先端リソグラフィプロセスの簡略化を実現し、CoOを大幅に低減できる。 同社では、半導体デバイスの進化の鍵となる回路パター…