オールインワン型ウエハ搬送ロボットダイヘンが1月発売

ダイヘンは、ロボット本体にコントローラを内蔵した、オールインワン型ウエハ搬送クリーンロボット「ＵＴＸ―ＲＤ５７００」（３軸円筒座標形）、「ＵＴＷ―ＲＤ５７００」（４軸円筒座標形）＝写真＝を２０１３年１月から発売する。マニピュレータとティーチペンダントを含む標準価格は、ＵＴＸ―ＲＤ５７００（シングルアーム）１５８万円、ＵＴＷ―ＲＤ５７００（デュアルアーム）１９８万円。

ＵＴＸ―ＲＤ５７００／ＵＴＷ―ＲＤ５７００は、同社のウエハ搬送ロボット「ＡＣＴＲＡＮＳ」シリーズの新製品で、３００ミリウエハ対応のシングルアーム／デュアルアームのウエハ搬送ロボット。ＲｏＨＳ指令対応。

従来機種の高機能性・高信頼性を継承するとともに、コントローラを内蔵し、省フットプリント・省エネルギー・省コスト設計を実現した。

高効率の駆動部伝達機構で、従来機より約50％の省エネルギー性能と、コントローラ内蔵により同約50％の省スペースを実現した。さらに、最適化設計により省コスト設計を可能にしている。

走行軸との組み合わせにより、マルチＦＯＵＰへアクセスが可能。

同社では、各種センサやハンドのカスタマイズに加え、反転軸追加など、幅広いオプション機能にも対応する。また、同社の従来機種と互換性を保持しており、従来機からの載せ換えにも対応する。

主な用途は、ウエハ加工関連装置や前工程装置、検査装置などの半導体製造装置。