工場・設備投資 2023年7月23日 ADEKA、千葉県袖ケ浦市の千葉工場でEUVフォトレジスト向け光酸発生剤の生産設備が竣工 ADEKAは、千葉県袖ケ浦市北袖3-1の千葉工場で建設中だったEUV（極端紫外線……
