ADEKA、千葉県袖ケ浦市の千葉工場でEUVフォトレジスト向け光酸発生剤の生産設備が竣工

ADEKAは、千葉県袖ケ浦市北袖3-1の千葉工場で建設中だったEUV（極端紫外線）フォトレジスト向け光酸発生剤の生産設備が完成した。2023年8月から稼働を開始する。
先端材料の需要が高まっていることから、8月より稼働予定。竣工した生産設備では、生産能力が従来の2倍以上となり、新たなプロセス技術を投入したほか、最先端設備の導入で品質管理能力を高め、1ppb未満の低メタル管理を実現する。次世代向け新製品を想定した生産設備も導入した。投資金額は約27億円。延床面積は1698平方メートル。

https://www.adeka.co.jp/news/2023/05/230525pag.html

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