オムロン/ファイバー変位センサー 5倍の計測精度実現

2017年4月19日

オムロンは、ファイバー同軸変位センサーとして、小スポットタイプ「ZW-5000シリーズ」を発売した。 同シリーズは、微細部品の隙間や位置、形状などを高精度に測定するために、センサーヘッドから照射する光のスポットサイズを従来製品比5分の1に絞った非接触型変位センサー。 微細部品の正確な計測を実現する最小φ10μm以内のスポットサイズにより、微細化が進む部品の形状を忠実に計測できる。 また、従来の変位センサーでは測定対象物の高さを平均化処理により測定するため、移動しながらの測定は再現性に課題があり検査品質の低下が生じていたが、新製品ではセンサーからの白色光を色別(波長別)に集光位置を変化させて照射…