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アズビル サファイア隔膜真空圧力計 小型・軽量で高い計測再現性

計測と制御で半導体プロセス業界をリードするアズビルは、セミコン・ジャパン2012に出展。技術、製品、計装力、サービスのトータルソリューションでBCP・設備稼働率向上・歩留まり改善アプリケーションを提案する。

出展製品は、BCPソリューション地震計連動装置緊急停止・入退室管理システム、EESデータ解析ツールOrchardTequira、計装ネットワークモジュールNX、サファイア隔膜真空圧力計、漏液センサ、装置稼働率改善ツールOrchardKarteなど最新技術・製品によりユーザーの課題に対応する。

各種製品のなかで、サファイア隔膜真空圧力計はサファイア静電容量式圧力センサを使用して高精度、高信頼性、小型、軽量を実現している。感圧部材料に高耐食性、高耐熱性、機械特性に優れた単結晶サファイアを使用し静電容量検出により高温環境下でも高い計測再現性を備えている。ゼロ調整スイッチや製品の状態をLEDで確認でき、使い勝手が良い。

(http://www.azbil.com/jp/)

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