SCREENセミコンダクターソリューションズ– tag –

住友重機械工業は、SCREENセミコンダクターソリューションズのフランス子会社で半導体製造装置事業を営むLaser Systems & Solutions of Europe SASU（以下「LASSE社」）の全株式を取得し、子会社化した。LASSE社はパワー半導体向けレーザーアニールで...

SCREENセミコンダクターソリューションズは､直接描画露光装置として業界最高水準の5μm解像度で毎時70枚の処理を実現し､半導体後工程の先端パッケージ市場の量産化に対応した直接描画露光装置｢DW-6000｣を開発し､販売を開始した｡ この装置は､高出力の355nmYA...