JX金属は、需要が拡大する次世代半導体向けCVD・ALD材料の本格供給に向け、神奈川県茅ヶ崎市にあるグループ会社の東邦チタニウム茅ヶ崎工場の敷地内と、茨城県日立市の日立事業所白銀地区へ生産設備と開発設備投資を行う。
生成AIの進化により、高性能半導体にはCVD･ALDによる薄膜形成のニーズが高まっており、同社は2024年2月に「CVD･ALD材料事業推進室」を新設。新規高純度CVD・ALD材料の量産ラインを構築し、顧客へのサンプル出荷を進め、良好な評価を獲得している。今回、本材料の本格採用により急速な需要拡大が見込まれることから生産能力の増強を決定した。茅ケ崎工場は24年度下期、日立事業所は25年度上期を目途に生産設備を導入し稼働を開始する計画。
