パナソニック インダストリー、半導体装置向け「FT-KV40H1」を発売 ウェーハセンタリングに最適な狭光芒ファイバ、耐熱105℃で高温プロセスにも対応

パナソニック インダストリーは、半導体製造装置におけるビューポート越しのウェーハセンタリングに最適な 狭光芒ファイバ「FT-KV40H1」を発売した。

同製品は、一般的なファイバと比べて光の回り込みが極めて少ない設計となっており、長距離検出時でも周囲の障害物からの影響を受けにくい点が最大の特徴。これにより、装置内部など複雑な環境下でも安定した検出性能を発揮する。

同社の狭光芒ファイバシリーズである 「FT-KV40H1」「FT-KS40」「FT-KV40」「FT-KV40W」 は、いずれも開口角2°以下の狭光芒を実現。これにより、300mmウェーハのマッピングなど、精度が求められる工程でも確実な位置検出を可能にしている。

特に今回発売された「FT-KV40H1」は、既存モデル「FT-KV40」の耐熱性能をさらに強化し、最大105℃まで対応。これにより、半導体製造の成膜工程やエッチング工程といった高温プロセスにおけるウェーハなど薄物ワークの検出をより得意とする製品へと進化した。

https://industry.panasonic.com/jp/ja/products/fasys/sensor/fiber/tf-narrow