SCREENホールディングス、滋賀県彦根市に半導体製造装置の新工場が完成

SCREENホールディングスは、彦根事業所の敷地内(滋賀県彦根市高宮町480-1)に半導体製造装置の新工場「S3-4(エス・キューブフォー)」が完成し、稼働を開始した。
同工場は、枚葉式洗浄装置「SUシリーズ」の主力工場であるS3-3に連結される予定で、S3-3で生産された装置やユニットの出荷前洗浄工程を強化することで、生産開始から出荷まで従来に増して効率の良い生産フローを実現する。総工費約100億円(S3-4を含む工事全体の金額)。
建築面積約5285平方メートル。延床面積約9625平方メートル。鉄骨造地上2階建。
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