枚葉式洗浄装置– tag –

SCREENホールディングスは、半導体製造装置事業（SPE事業）における生産能力増強の一環として、富山県高岡市本郷に、枚葉式洗浄装置の薬液供給キャビネット専用工場となる高岡事業所を開設し操業を開始した。高岡事業所ではキャビネットの組み立てから検査...

SCREENホールディングスは、彦根事業所の敷地内（滋賀県彦根市高宮町480-1）に半導体製造装置の新工場「S3-4（エス・キューブフォー）」が完成し、稼働を開始した。 同工場は、枚葉式洗浄装置「SUシリーズ」の主力工場であるS3-3に連結される予定で、S3-3...