- 2021年12月7日
島津製作所、薄膜コーティング用途向けターボ分子ポンプ発売
島津製作所は、真空蒸着装置やスパッタリング装置で行われる薄膜コーティング用途向けのターボ分子ポンプ「TMP-V4404LMW形」を発売した。 従来機種から排気速度を向上させ、高品質な成膜を実現。消費電力を従来比18%削減(最大ガス流量排気時)して環境 […]
島津製作所は、真空蒸着装置やスパッタリング装置で行われる薄膜コーティング用途向けのターボ分子ポンプ「TMP-V4404LMW形」を発売した。 従来機種から排気速度を向上させ、高品質な成膜を実現。消費電力を従来比18%削減(最大ガス流量排気時)して環境 […]
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