島津製作所、薄膜コーティング用途向けターボ分子ポンプ発売

島津製作所は、真空蒸着装置やスパッタリング装置で行われる薄膜コーティング用途向けのターボ分子ポンプ「TMP-V4404LMW形」を発売した。

従来機種から排気速度を向上させ、高品質な成膜を実現。
消費電力を従来比18%削減(最大ガス流量排気時)して環境負荷を軽減したほか、ポンプ重量を115kgから98kgに軽量化し、移動・搭載時の作業負荷を軽減。起動時間も14分から12分以下に短縮し、生産性向上を支援。

また磁気軸受を採用し静粛な駆動ができ、潤滑油とメンテナンスがいらず、清浄空間の実現と長寿命化を実現している。

https://www.shimadzu.co.jp/news/press/tjkuj-5lppczbj3j.html

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