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日立ハイテクノロジーズ（東京都港区）は、ウェーハ表面と裏面の両面検査が可能な検査装置「LS9300A-EG」を開発した。 回路パターン形成前のウェーハ表面検査は、わずかな異物や欠陥が不良の原因になるため、品質保証や異物管理に適用されているが、最先端...

日立ハイテクノロジーズ（以下、日立ハイテク）の100%子会社であるHitachi High-Technologies (Singapore) Pte. Ltd.（取締役社長：内山 徹也／以下、HTS）は、タイの工業団地開発最大手企業であるAmata Corporation Public Company Limited（以下、アマタ...