半導体ウエハ– tag –

ダイヘンは、真空環境下で世界最速レベルの高速化・低振動・高精度搬送ができる半導体ウエハ搬送ロボット「UT-VDW3000」を発売開始した。 1時間あたりの処理枚数650枚の高速搬送ができ、半導体製造装置の設置台数を増やすことなくウエハ処理枚数を増やすこ...