デポ対策– tag –

アズビルは、MEMS加工技術でデポ対策を強化したサファイア隔膜真空計「形V8」を発売した。半導体製造工程で使われるプロセスガスは、種類によっては真空計のセンサダイヤフラム上に膜が形成される「デポ」と呼ばれる現象が発生することがあり、ゼロ点がシ...