サファイア隔膜真空計– tag –

アズビルの「サファイア隔膜真空計 形V8C」が、2023年度グッドデザイン賞を受賞した。サファイア隔膜真空計は、サファイア静電容量式圧力センサを使用した真空度を計測する機器で、半導体製造工程の成膜・エッチング装置に設置される真空計は筐体サイズの...

アズビルは、MEMS加工技術でデポ対策を強化したサファイア隔膜真空計「形V8」を発売した。半導体製造工程で使われるプロセスガスは、種類によっては真空計のセンサダイヤフラム上に膜が形成される「デポ」と呼ばれる現象が発生することがあり、ゼロ点がシ...