パナソニック インダストリー、用途最適タイプでモーション事業を強化　半導体製造プロセスに最適化したサーボアンプ　産業オープンネット展で披露

パナソニック インダストリーは、サーボアンプ、サーボモータなどを中心とするモーションコントロール事業について、汎用的に使える標準品に加え、ある特定領域に特化した性能や機能などを付与した「用途最適ソリューション」を切り口とした提案を強化している。7月8日に大阪で行われた産業オープンネット展大阪でも、特に半導体製造装置をターゲットとした精密な圧力制御対応ACサーボアンプ「MINAS A7BRT」を展示し好評を得ていた。

同社は現在、事業コンセプトとして「Machine Evolution Partner」を掲げ、顧客の機械や装置の性能向上や価値創出のために伴走するパートナーとしての色を強く打ち出した事業運営を強化している。これまでの汎用品、標準品の拡販を中心としたやり方から、顧客の要望やニーズに合わせた作り込みなどにも力を入れ、大手でありながら中堅・中小メーカーのようなきめ細やかな対応へとシフトしている。

それを体現しているのが「用途最適ソリューション」で、標準品をある特定領域の用途に合わせて作り込みを行い、小型化やタクトタイム短縮、コスト削減、立ち上げ容易性の向上といった採用メリットが享受できる製品として提供している。

昨年11月に行われたIIFES2025では用途最適化したセンサを出展し、半導体製造プロセス向けに超小型化したファイバセンサや熱処理プロセス後のウエハ搬送に最適化した耐熱仕様ファイバヘッド、漏液検知センサなどを提案。他にはない製品で、具体的な課題や困りごとの解決策として好評だったという。

今回、産業オープンネット展大阪では、活況な半導体業界のなかでも、特に半導体製造装置や製造プロセス向けに最適化したACサーボアンプの新製品「MINAS A7BRT」を展示・紹介した。MINAS A7BはEtherCAT対応のサーボアンプで、業界最高クラスの基本性能を持ち、すぐ動かしたい時の簡単調整から熟練者のような超高精度調整まで自動調整に対応し、調整や立ち上げのスピードを高めるのに効果的で、標準品として汎用的に幅広い用途で使うことができる。

それに対し、今回出展した「MINAS A7BRT（圧力制御対応）」は、用途最適タイプの一種で「センサ直結フィードバック」機能を持ち、圧力センサから得た情報をサーボアンプでリアルタイムに処理してフィードバック制御が可能。これまでは上位にモーションコントローラやPLCが必要で、センサの情報をアンプからモーションコントローラまで上げてフィードバックをかけるのでどうしてもデータ処理や機器間通信に時間を取られ、タクトタイムが上げられないという課題があった。

それに対し同製品では、センサとアンプの間でデータをやりとりするだけなので、限りなくリアルタイムの高速制御が可能。そのため高速で高精度が求められ、かつタクトタイムの短縮と省スペース化が求められる半導体製造プロセスでのボンディングや実装工程などで大きな威力を発揮する。

展示では、流れてくる硬度の異なる複数のワークに対して一定の力で押し付けるデモを実施。ワークがセンサに触れた瞬間に硬度を認識して適切な押し付け力になるように制御し、弱すぎず強すぎない制御を紹介。「従来のようにコントローラを使ったシステムでも同じ制御はできますが、スピードもタクトタイムも全然レベルが違います。半導体産業では限られた時間や限られた空間のなかで何個のチップを作れるかが一番重要で、MINAS A7BRTにすることでタクトタイムも短く、システムもシンプル化できて省スペース化が可能になります」としている。

また展示では、PLCとモーション制御を一体化したオールインワンのモーションコントローラ「GM1シリーズ」の新製品「GM1P」も紹介していた。CODESYSを搭載し、それぞれ独立したシーケンス制御用コアとモーション専用コアによる制御で0.5〜4.0msの高速化と最大64軸の多軸化を両立し、かつ新たに国際規格IEC-61131-10に準拠。9月15日の産業オープンネット東京では新商品を含めた、ラインアップを紹介する予定としている。

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