堀場アドバンスドテクノ、半導体製造プロセス向け光ファイバー式非接触型薬液濃度モニター「CS-900F」発売

堀場アドバンスドテクノは、半導体製造プロセス向けの光ファイバー式非接触型薬液濃度モニター「CS-900F」を発売した。
同製品は、洗浄やエッチング工程で使用される薬液の濃度を測定する「CS」シリーズのフラッグシップモデル。配管に取り付けるだけで薬液を非接触測定できる方式を採用し、薬液漏れやコンタミネーションのリスクを低減。メインユニットとセルユニットを光ファイバーケーブルでつなぐ方式により、従来はセルユニットに内蔵していた分光器をメインユニット側へ移設。これにより装置内に設置するセルユニットの体積を従来比で約60%削減し、大幅な小型化とフットプリントの低減を実現した。セルユニットには安定性の高いリファレンス機構を内蔵し、振動などの外乱影響を低減して高い測定精度を維持する。
さらに、最高80℃までの高温薬液の測定に対応する。波長域を従来比約3倍に拡張したことで、標準的なSC-1だけでなく、硝酸、リン酸、酢酸の混合液などの複雑な薬液も前処理なしで直接測定できる。

https://www.horiba.com/jpn/company/news/detail/news/3/2026/20260326cs-900f