【セミコンジャパン2022 FA企業ブース紹介】アズビル(ブース:2802)

アズビルは、「デポ課題を解決。成膜・エッチャプロセスの進化に貢献」をテーマに新たな価値を紹介する。
高速応答・低圧損・高精度なデジタルマスフローコントローラ「形 F4Q」をはじめ、高い計測性能、使いやすさを実現した熱式微小液体流量計「形 F7M」、アンプ内蔵漏液スイッチ「形 HPQ-D□□」、パイプ取付け液面ファイバユニット「形 HPF-T032□/ HPF-T034□」等を出品する。

https://www.azbil.com/jp/

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