荏原製作所熊本工場拡張 68億円を投資

荏原製作所精密・電子事業カンパニーは、約68億円を投資して熊本工場を拡張することを決定した。今年12月の稼働開始を予定している。

新工場では、半導体製造装置の製造とドライ真空ポンプのサービスとサポートを行う。

クリーンルーム内の空調で使用する電気量を従来比約半分に削減、生産過程で使用された水を95％以上再利用するなどの省エネ機能を盛り込む予定。