高性能製造装置・設備制御の高速化に向けて

2011年4月27日

2.適応事例「ICハンドラ」の紹介 「ICハンドラ」は、組立完了した半導体を設定された測定環境下で自動的にテストシステム(LSIテスタ)に供給し、テスト結果に基づいて良品、不良品の自動判別を行い収納する「搬送装置」である。半導体の高機能化・高集積化にともないパッケージが小形化、狭ピッチ化、多ピン化が加速している中、いかにテストコストを下げるかが課題となっている。そのためICハンドラにはより高速・高精度な位置決め動作、高い稼働率、稼働状況の管理などが要求されるようになっている。当社がラインアップするコントローラ商品でより高速・高精度の装置の実現に貢献している。【図2】 (1)装置の高速・高機能化…