EUVリソグラフィ– tag –

ADEKAは、茨城県神栖市の鹿島化学品工場内に、次世代EUVリソグラフィ（高NA EUV）向けMOR（金属酸化物レジスト）用金属化合物の専用プラントを新設する。投資額は32億円。半導体は高集積化が進み、微細な回路パターン形成のため、従来のEUV露光より解像度...