CMPスラリー– tag –

富士フイルムは、熊本県菊池郡の富士フイルムマテリアルマニュファクチャリング（FFMT九州）で、半導体製造プロセスの基幹材料であるCMPスラリーの生産設備を本格稼働した。CMPスラリーは、硬さの異なる配線や絶縁膜が混在する半導体表面を均一に平坦化す...