高純度フッ化水素ガス– tag –

レゾナックは、山口県周南市の徳山事業所において、半導体製造に使用される高純度フッ化水素ガスの製造を2026年内に開始する。既存の川崎事業所に加えた国内2拠点体制を構築し、供給能力と安定性を高める。同製品は半導体回路のエッチング工程で使用され、...