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FA業界・企業トピックス
島津製作所、半導体洗浄液中の微量な金属元素を短時間で測定する新技術を開発
▲開発した試作機 島津製作所は、レーザ誘起ブレークダウン分光法（LIBS：Laser Induced Breakdown Spectroscopy）の原理を用いて、同手法としては世界最高クラスの感度で微量な金属元素を測定する新技術を開発し、試作機による実証実験を開始しました。 当...
2018年7月6日
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