スペクトロニクス– tag –

三菱電機と大阪大学、スペクトロニクスは、次世代のレーザー加工装置として、高速に微細加工できる「高出力深紫外ピコ秒レーザー加工装置」の試作機を開発した。 波長266ナノメートルの深紫外でパルス幅がピコ秒の短パルスレーザーを、平均出力50Wで照射す...