- 2021年6月30日
三菱電機と大阪大学、スペクトロニクス、高出力深紫外ピコ秒レーザー加工装置を開発
三菱電機と大阪大学、スペクトロニクスは、次世代のレーザー加工装置として、高速に微細加工できる「高出力深紫外ピコ秒レーザー加工装置」の試作機を開発した。 波長266ナノメートルの深紫外でパルス幅がピコ秒の短パルスレーザーを、平均出力50Wで照射すること […]
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スペクトロニクス
三菱電機と大阪大学、スペクトロニクスは、次世代のレーザー加工装置として、高速に微細加工できる「高出力深紫外ピコ秒レーザー加工装置」の試作機を開発した。 波長266ナノメートルの深紫外でパルス幅がピコ秒の短パルスレーザーを、平均出力50Wで照射すること […]
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