シロキサン– tag –

CKDは、シロキサンの吸着とオゾンの分解に特化したリムーバ「SFX」を発売した。半導体製造の後工程や実装工程における、圧縮エアおよび窒素ガスのクリーン化を目的とし、独自開発の活性炭フィルタを搭載することで、対象物質を99%以上の高い割合で除去が可...