新製品/サービス 2021年6月30日 三菱電機と大阪大学、スペクトロニクス、高出力深紫外ピコ秒レーザー加工装置を開発 三菱電機と大阪大学、スペクトロニクスは、次世代のレーザー加工装置として、高速に微……