新製品/サービス 2014年12月17日 半導体製造の国家的プロジェクト「ミニマルファブ構想」始動 装置小型化、設備投資を極小化 半導体製造の概念を大きく変革する「ミニマルファブ構想」がスタートした。産業技術総……
