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熱式微小液体流量計

【セミコンジャパン2022 FA企業ブース紹介】アズビル（ブース：2802）

アズビルは、「デポ課題を解決。成膜・エッチャプロセスの進化に貢献」をテーマに新たな価値を紹介する。高速応答・低圧損・高精度なデジタルマスフローコントローラ「形 F4Q」をはじめ、高い計測性能、使いやすさを実現した熱式微小液体流量計「形 F7M」、アン […]

アズビルは、熱式微小液体流量計「形F7M」に、0.5～50ミリリットル／分まで計測レンジを拡大したモデルと、全形番に利便性を向上させた新機能を搭載し、5月14日から発売した。形F7Mは、気泡、脈動、流体温度などの流体状態の変化の影響を受けにくく、流 […]

azbilグループは「人を中心としたオートメーション」のグループ理念のもと、計測と制御の技術を活用し、人々の安心・快適・達成感の実現と地球環境への貢献を目指し、工場やプラントでのアドバンスオートメーション事業、建物市場でのビルディングオートメーション […]

アズビルは、従来の計測方式では再現性の高い計測が難しかった30ミリリットル／分以下の微小液体流量の計測が可能となる、熱式微小液体流量計「形F7M」を12月4日から発売した。販売目標は初年度2000台、3年後8000台。新製品は、長年、気体流量計にて […]

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