アズビル 熱式微小液体流量計「形F7M」微小液体流量を高精度計測

azbilグループは「人を中心としたオートメーション」のグループ理念のもと、計測と制御の技術を活用し、人々の安心・快適・達成感の実現と地球環境への貢献を目指し、工場やプラントでのアドバンスオートメーション事業、建物市場でのビルディングオートメーション事業、ライフラインや健康市場でのライフオートメーション事業を展開している。

医療市場では装置単位での流量・圧力・温度・湿度計測と制御を提供している。

Medtec Japanでは、微小液体流量計、液面(気泡)・漏液スイッチ、グラフィカル調節計などを中心に展示する。ブース№は4308。

このうち、熱式微小液体流量計「形F7M」は、従来難しかった30ミリリットル/分以下の微小液体流量を±5%RDという高い精度で計測できるのが特徴。アズビルが得意とするMEMS技術を用いて開発したセンサパッケージと熱式気体流量計・電磁流量計にて培った流量計測ノウハウを組み合わせ、高い精度と汎用性を実現している。特に、従来の液体流量計測には適用が難しかった「熱式計測方式」を採用し、石英ガラス管の外側に液温センサとヒーターセンサを熱的に密着させる技術で開発した。

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