アズビル 熱式微小液体流量計発売 再現性の高い計測

2017年12月6日

アズビルは、従来の計測方式では再現性の高い計測が難しかった30ミリリットル/分以下の微小液体流量の計測が可能となる、熱式微小液体流量計「形F7M」を12月4日から発売した。販売目標は初年度2000台、3年後8000台。 新製品は、長年、気体流量計にて実績が豊富な同社独自のMEMSセンシング技術を活用した熱式計測原理を採用。気泡、脈動、流体温度などの流体状態の変化の影響を受けにくく、計測対象流体の補正が容易(流体の熱伝導率にて補正)な使いやすさを開発コンセプトとし、ポンプ回転数、重量測定、流体供給時間の管理などの代替手法から置き換えて瞬間流量・積算流量を計測することで、より確実な計測数値に基づく…