【セミコンジャパン2022 FA企業ブース紹介】東京計装（ブース5241）

東京計装は、最先端の半導体製造プロセスに対応した高性能流量計からユーティリティ用流量計まで、幅広い用途に対応した各種流量計測・制御機器を紹介する。
小口径配管用のクランプオン超音波流量計「GST/SFC011GS」、PFA配管用のクランプオン超音波流量計「UCL/SFC010C.011C」を展示する。

https://www.tokyokeiso.co.jp/topics/semi_japan22/index.html