長野計器は、セミコンジャパン2022で圧力センサを出品する。
半導体産業用圧力センサ「ZT11」は、蒸着形半導体歪ゲージを用いた半導体用圧力センサ。安全増防爆構造品をラインアップし、機器使用時の安全性を更に向上している。高温用圧力センサ「ZT17」は、200℃までの計測に対応し、半導体製造プロセスの高温用途に対応した圧力センサとなっている。
【セミコンジャパン2022 FA企業ブース紹介】長野計器（ブース1712）
長野計器は、セミコンジャパン2022で圧力センサを出品する。
半導体産業用圧力センサ「ZT11」は、蒸着形半導体歪ゲージを用いた半導体用圧力センサ。安全増防爆構造品をラインアップし、機器使用時の安全性を更に向上している。高温用圧力センサ「ZT17」は、200℃までの計測に対応し、半導体製造プロセスの高温用途に対応した圧力センサとなっている。
