日立ハイテク、山口県下松市に半導体製造装置の新製造棟を建設

日立ハイテクは、半導体製造装置事業におけるエッチング装置の生産能力増強を図るため、山口県下松市東豊井にある笠戸地区に新製造棟を建設し、2025年度から生産を開始する。
新製造棟では生産ラインのデジタル化や自動化によってエッチング装置の生産能力を2倍に引き上げ、ますます拡大する半導体製造装置の需要に応えていく。また同社は2027年度までに全事業所(ファクトリー・オフィス)でのカーボンニュートラル達成を目標に掲げており、新製造棟でもカーボンニュートラルを達成し、脱炭素社会の実現をめざす。
鉄骨造の地上4階建で、敷地面積は約8万0000平方メートル。延床面積は約3万5000平方メートル。竣工予定は2025年4月。投資額は約240億円。

https://www.hitachi-hightech.com/jp/ja/news/nr20230418.html

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