THK、特殊環境向け高機能非磁性・超高耐食対応の直動・回転案内部品を発売

THKは、強磁場や腐食性薬剤の影響を伴う特殊環境下でも、通常環境に匹敵する直動・回転案内性能が発揮できる高機能非磁性・超高耐食に対応したLMガイド、ボールねじ、ボールスプライン、クロスローラーリングを発売した。
半導体の製造プロセスでは超微細回路パターンを描く電子線描画装置やフォトリソグラフィ工程など特殊環境が存在し、磁気の影響を極端に嫌い、特殊薬剤による耐食性を極限までに要求される。特に最先端技術向けでより高度な非磁性・高精度・高耐食が求められている。
それに対し同製品は、比透磁率が1.005未満の磁気をほとんど帯びない高水準の非磁性性能と軸受に適した高硬度の特長を併せ持つ特殊合金で構成し、磁場環境や電荷を帯びた粒子を制御する機器等での使用に最適。従来のステンレス鋼、オーステナイト系非磁性鋼、チタン、セラミックなどの特殊鋼と比べると耐荷重性能が大幅に向上し、既存の直動・回転案内とほぼ同等の耐荷重性能を実現。腐食性薬剤が飛散する環境下でも極めて優れた耐食性を発揮する。

https://www.thk.com/?q=jp/node/6682

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