浜松ホトニクスは、微細パーティクル/微細欠陥検出とプロセスのリアルタイムモニタリングに困っているユーザーに対する解決策を提案する。
微細パーティクル/微細欠陥検出に困っているユーザーには、レーザ励起プラズマ光源・InGaAsカメラを提案する。プロセスのリアルタイムモニタリングに困っているユーザーに対しても、膜厚計・プラズマプロセスモニタを提案。。
https://www.hamamatsu.com/jp/ja/news/events/2022/20221214000000.html
【セミコンジャパン2022 FA企業ブース紹介】浜松ホトニクス（ブース5113）
