安川電機は、「半導体製造のそばに～ウェハ・基板搬送を支えるYASKAWA～」をメインテーマとし、前工程の微細化・多層化だけでなく、半導体パッケージの進化に伴う後工程の変化にも対応する最適なソリューションを紹介する。
ダイレクトドライブモータを採用し、高精度で振動やゴミを出さない最新のウエハ搬送用クリーンロボットSEMISTAR-GEKKO、またACサーボドライブΣ-ⅩシリーズやYRM-Ⅹコントローラを始めとした豊富な製品ラインアップで、半導体製造の生産性向上や「止まらない設備・工場」の実現を提案する。
