超音波技術を核とした超音波計測の専門メーカーのソニックは、レジスト塗布装置やエッチング装置、洗浄装置等の特に半導体製造装置における微少流量計測に最適な超音波流量計や、工場内ユーティリティー、環境計測に関わる液体クランプオン流量計や気体流量計を展示。クリーンルームなどの室内の気流を可視化する３次元超音波風向風速計も展示する。
【セミコンジャパン2022 FA企業ブース紹介】ソニック（ブース2234）
- 2022年12月9日
- イベント・セミナー
- 2022年12月14日号, セミコンジャパン, ソニック
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