ディスコ、稼働状況を装置が自動返信。半導体製造装置を手元で監視・制御

2019年1月8日

ディスコは、スマートフォンやパソコンなどの端末からタイムライン・トーク形式で、複数の精密加工装置を監視・制御できるシステムを開発した。

新システムは、複数の装置を同一ネットワーク上に配置し、Wi−Fiなどを使用して接続することにより、従来は装置モニタで個別に行なっていた監視・制御が、手元で一括して行える。

端末から装置へメッセージを送ると、その内容に対する返信が各装置から届き、装置の運転開始や終了時、エラー発生のタイミングでメッセージを受け取ることもできる。稼働状況やブレード品種・摩耗量、エラー発生など、装置モニタ上で行う監視・制御が手元で行え、やりとりの履歴は時系列で表示される。

Webブラウザを使用のため、専用の端末は不要。装置のダウンタイムの削減や、クリーンルームに出入りするオペレータの時間削減も可能になる。