Aerotech XYZピエゾ・ステージ 抜群の幾何学的性能

Aerotech（千葉市美浜区）は、ピエゾナノポジショナーの新ラインアップとして、サブ・ナノメートルの分解能と高い応答性、優れた幾何学的性能を、コンパクトな3自由度ユニットにまとめたXYZピエゾ位置決めステージ「QNP3シリーズ」を発売した。

QNP3ピエゾ・ステージは、パラレル・キネマティック機構のたわみと、計測のための設計を有限要素法によって最適化し、各軸の優れた精度と高い剛性、長寿命を実現。高剛性で共振周波数が高いことから、プロセスのスループットが向上し、閉ループ制御による高速な応答も可能。

この特許申請中の駆動機構によって、計測システムとしてアッベの原理を保ちながら、X軸およびY軸のヨー誤差を最小化。X・Y軸の全ストロークにわたって並外れた位置決め精度を実現し、また、Z軸のアクチュエータと静電容量センサも、垂直方向の幾何誤差を最小限に抑えつつ、アッベの原理に従ったフィードバックができるよう設計されている。

40×40ミリの開口部を設け、閉ループ制御での最大ストローク100×100×10μm（開ループ制御では120×120×12μm）を実現。閉ループあるいは開ループ制御で使用でき、独自の静電容量センサによる並列測定デザインによって、位置決めキャリッジの位置を直接測定する。これにより、サブ・ナノメータの分解能と0.01％未満の直線性誤差、数ナノメータの繰り返し精度を実現している。