Aerotech XYZピエゾ・ステージ 抜群の幾何学的性能

2017年6月28日

Aerotech(千葉市美浜区)は、ピエゾナノポジショナーの新ラインアップとして、サブ・ナノメートルの分解能と高い応答性、優れた幾何学的性能を、コンパクトな3自由度ユニットにまとめたXYZピエゾ位置決めステージ「QNP3シリーズ」を発売した。 QNP3ピエゾ・ステージは、パラレル・キネマティック機構のたわみと、計測のための設計を有限要素法によって最適化し、各軸の優れた精度と高い剛性、長寿命を実現。高剛性で共振周波数が高いことから、プロセスのスループットが向上し、閉ループ制御による高速な応答も可能。 この特許申請中の駆動機構によって、計測システムとしてアッベの原理を保ちながら、X軸およびY軸のヨ…