キーエンス、インライン静電気測定器「SK シリーズ」発売 ワーク帯電量を±1.0Vの高精度で常時監視

キーエンスは、高精度インライン静電気測定器「SK シリーズ」を発売した。先端半導体製造などで求められる精密な静電気管理に対応する。
ワークに帯電する静電気の数値化は、従来のハンディ測定器では傾向値の把握に留まり、高速で動くワークの状態や環境変化に伴う帯電量の変動をリアルタイムで捉えることは困難だった。また、CPMはイオナイザの性能評価に留まり、ワーク自体の除電状態を直接測定できなかった。
それに対し同製品は、従来は把握しきれなかった高速搬送ワークの帯電量をリアルタイムで常時測定・監視することが可能な静電気測定器。独自の「D.C.C.（Distortion Cut Circuit）」回路を搭載し、センサ駆動時の電源歪みを高精度に除去し、微小な信号を正確に検出。これにより測定精度±1.0 V（従来比10倍）、高速応答28 ms（従来比14倍）という高性能を実現。分解能は0.1 Vで、5.0 Vと5.1 Vを区別したいといった高度なニーズにも応える。
ワークの帯電量だけでなく、周囲の温度・湿度データも収集可能。イオナイザと組み合わせることで、ワーク表面の帯電量とイオナイザのイオンバランスを同時にモニタリングできる。
データは各種通信ネットワークに対応し、最大8台のセンサデータをPCやPLCから一括で読み出し・設定変更が可能。静電気管理の効率化と歩留まり改善に貢献する。

https://www.keyence.co.jp/products/static/electrostatic/sk