キーエンス、白色干渉計搭載レーザ顕微鏡「VK-X4000」を2026年1月発売開始 3方式スキャンと自動多点測定を両立

キーエンスは、白色干渉計搭載レーザ顕微鏡「VK-X4000」を2026年1月に発売する。
同製品は、トリプルスキャン方式と全自動多点測定機能により、高精度測定と自動化による効率向上を両立。
トリプルスキャン方式は、「レーザ共焦点」「白色干渉」「フォーカスバリエーション」の3つの原理を1台に集約。これにより鏡面体や透明体、大きな凹凸のある広範囲な対象物まで、素材や形状を選ばず高精度な3D測定が可能。最高倍率は28800倍で、ナノオーダーの微細形状からミリ単位の全体形状までを1台でカバーする。
マルチポイント測定機能は、複数箇所や複数ワークの測定を自動化。従来は1点ずつ手動調整が必要だった多点測定も、サンプルを置いて測定箇所をクリックするだけで実行できる。測定サンプリング点数の増加と作業時間の大幅な短縮を実現できる。

https://www.keyence.co.jp/products/microscope/laser-microscope/vk-x4000/pr/193614001.jsp