日本航空電子工業とオオクマ電子、精密位置決め用チルトステージを共同開発

日本航空電子工業（JAE）とオオクマ電子は、精密位置決めステージ用のチルトステージを共同開発した。半導体市場の微細化・高集積化・3次元化の進展に伴い、製造装置や検査装置に求められる高精度な制御ニーズに対応する。
同製品は、装置の基本3軸（X軸、Y軸、Z軸）では補正が困難な、供試体の微細なゆがみや傾きを高精度に補正することが可能で、加工精度および検査精度の飛躍的な向上を実現する。主な仕様は、サイズが100×100×58.5mm、可動範囲がθx・θy ±0.088度、Z ±0.05mm、ペイロードが1kg。
初号機は、2025年9月にオオクマ電子へ納入後、同社製の超微細デジタル光学顕微鏡「ORES-6000シリーズ」に搭載され、大手半導体デバイスメーカーに解析用として採用される予定。従来SEMでしか観察できなかった直径1マイクロメートルの微細構造を光学顕微鏡で観察が可能。
今後、オオクマ電子製の微細レーザー露光・加工装置「ORES-5000」と組み合わせることで、半導体のリペア工程や解析工程への市場展開を進めていく。両社は、オオクマ電子の装置開発力とJAEのモーターとセンサー技術の強みを融合させ、高度化する半導体製造・検査ニーズに対応し、幅広い市場に向けた革新的な製品開発を加速する。

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