SCREENホールディングスは、長期的な成長が続く半導体製造装置市場の需要拡大を背景に、滋賀県彦根事業所に半導体製造装置事業(SPE事業)の新工場となる「S3-5(エス・キューブ ファイブ)」の建設と、国内グループ会社3社での生産能力増強のための設備投資を実施する。総投資額は約160億円。今回の設備投資によって生産能力を20％向上させる計画。
滋賀県彦根事業所の新工場「S3-5」（滋賀県彦根市高宮町480-1）は、枚葉式洗浄装置の生産を担い、生産能力増強に向けて部品仕分け機能や装置・ユニットの組み立て機能を強化。主力工場「S3-3(エス・キューブ スリー)」や、建設中の「S3-4」と連結することで生産開始から出荷まで従来に増して効率的な生産フローを実現する。鉄骨造３階建で、建築面積は4500平方メートル、延べ床面積は1万3534平方メートル。2024年1月の操業開始を予定している。総工費は80億円。
また国内グループ3社の設備投資について、SCREEN SPEサービスは、熊本エリアでの半導体製造装置の保守サービスを担う新棟（熊本県上益城郡益城町小谷2083-7）を建設する。2022年10月の竣工予定で、総工費は5億円。SCREEN SPE ワークス（富山県高岡市本郷二丁目300-1）は、半導体製造装置(洗浄装置)の組み立て、検査、搬入、据え付けを担うための拡張整備を行う。2023年7月の竣工予定で、総工費は55億円。SCREEN SPEクォーツでは、半導体製造装置(洗浄装置)の主要部品、石英ガラス洗浄槽などの生産能力向上に向け、郡山工場（福島県郡山市待池台1-15-4）といわき工場（福島県いわき市勿来町酒井七反田22-4）を拡張整備する。郡山工場の竣工は2023年9月予定で、総工費は15億円。いわき工場は2023年10月の竣工、総工費は5億円。
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