東京エレクトロンデバイス 複数の判別が可能、異常判別プログラムを自動生成

2019年5月22日

東京エレクトロンデバイスは、予知保全が行える異常判別プログラム自動生成マシン「CX-M」に、複数の状態を判別できるモデルを自動生成する「多値判別モデル生成機能」を追加、「CX-M ver4.0」として5月9日から発売した。

予知保全を行う際、従来は「正常」と「異常」などの2値の状態判別が中心であり、複数の状態の判別を行う場合は、各状態を判別するモデルの生成と運用管理が必要となる。

新製品は、複数の状態データを学習することで多値判別モデルを生成。装置データの「正常」「準正常」「異常1」「異常2」など、複数の状態判別を1つのモデルで行うことが可能。これにより、自社に合った判定や歩留まりの向上、また、より確かな品質管理などが行えるようになる。

異常判別プログラムを自動で生成するため、データ分析技術の知識がなくても、数値データを用意するだけで自社基準のプログラムを生成することが可能。生成した異常判別プログラムは出力し、製造現場や自社のシステムに組み込むなど任意の環境での利用も行える。